电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究
全部作者： 郭小立 唐天同 第1作者单位： 西安交通大学 论文摘要： 本文采用波动电子光学的.图像理论来研究高分辨电子光学系统的电子束斑电流密度分布。利用波像差概念和电荷密度的旁轴展开式，修正旁轴轨迹和透镜的球像差系数来考虑空间电荷效应。考虑了电子源的空间电荷和部分相干性，利用光学传递函数的傅立叶-贝塞尔变换获得点扩散函数。 关键词： 电子束，电流密度分布，束斑尺寸，空间电荷效应，热初速，波动电子光学 (浏览全文) 发表日期： 2006年10月29日 同行评议：
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