基于FPGA的等离子体参数自动诊断系统

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基于FPGA的等离子体参数自动诊断系统

全部作者: 史磊 陈俊芳 符斯列 杨春林 赖秀琼 黄孟祥 张洪滨 第1作者单位: 华南师范大学物理与电信工程学院 论文摘要: 本文提出了1种基于FPGA的等离子体静电探针自动检测系统的.总体设计方案及其硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率。得到了放电气压0.25Pa、射频13.56MHz、功率200W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度。 关键词: 等离子体源;FPGA;静电探针;自动诊断 (浏览全文) 发表日期: 2008年01月07日 同行评议:

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